企业需求背景:
材料、设备国产化,降低成本,解决受制于国外技术的困境。
需求详细描述:
RGB光阻材料
寻找合适的国产化光阻材料,替代目前公司所用的的进口材料,具体要求指标如下:
性能指标:
1)工艺条件(涂布性、HP、曝光、显影、BT等);
2)Defect(光阻残、peeling、毛边);
3)外观(无pin mura、显影mura等不良)
4)特性评价(本制程色度及ITO/OC后色度偏差≤3‰、膜厚偏差±0.1μm、信赖性(耐药性、耐热性、附着力等)、CD/overlap/角段差/外貌符合产品规格
AOI设备
提升自动光学检测效率的设备,目前检查速度慢、漏检和误检的比例较高。
技术指标:
1、提高检查速度:当前检查一片约 90S,期望达到 50S。
2、提升检查能力:当前检查漏检率 2%,期望达到 1%。
3、降低误检比例:当前检查误检率 1.5%,期望达到 0.5%。