企业需求背景：

材料、设备国产化，降低成本，解决受制于国外技术的困境。

需求详细描述：

RGB光阻材料

寻找合适的国产化光阻材料，替代目前公司所用的的进口材料，具体要求指标如下：
性能指标：
1)工艺条件（涂布性、HP、曝光、显影、BT等）;
2)Defect（光阻残、peeling、毛边）；
3)外观(无pin mura、显影mura等不良）
4)特性评价（本制程色度及ITO/OC后色度偏差≤3‰、膜厚偏差±0.1μm、信赖性（耐药性、耐热性、附着力等）、CD/overlap/角段差/外貌符合产品规格

AOI设备

提升自动光学检测效率的设备，目前检查速度慢、漏检和误检的比例较高。
技术指标：
1、提高检查速度：当前检查一片约 90S，期望达到 50S。
2、提升检查能力：当前检查漏检率 2%，期望达到 1%。
3、降低误检比例：当前检查误检率 1.5%，期望达到 0.5%。