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新型高效硅材料制备设备(ETP PECVD)

  • 拟合作方式:技术许可、技术转让、产业化合作、融资、联合开发
  • 地区: 上海
  • 行业:智能制造
  • 技术阶段:中试阶段
  • 技术来源:高校/院所技术成果
项目特色:

本项目是一种用于制备SiN膜、石墨烯、ZnO、非晶硅和微晶硅、金刚石薄膜等新材料的关键核心设备。具备基本温度低、沉积速率快、成膜质量好、针孔较少,不易龟裂等优点。随着光伏产业的快速发展,此技术将有广阔的市场前景。

项目概要

  • 技术产品介绍


    本项目所研制的大型平板式扩展热等离子体增强化学气相沉积装备(ETP PECVD) ,主要用于制备SiN膜、石墨烯、ZnO、非晶硅和微晶硅、金刚石薄膜等,是生产这些新材料的关键核心设备。

  • 应用场景


    经过不断的试验,本项目技术在太阳能电池的大规模生产线得到了应用。突破了国外技术壁垒,降低我国太阳能产业对进口设备的依赖,降低太阳电池片的生产成本和维护成本。

  • 技术优势


    设备具备以下几个特点:
    (1) 产能是其他技术如微波等离子体技术和射频等离子体技术(目前市场上广泛使用)的两倍;
    (2) 克服了德国Roth &Rau公司体钝化效果差的缺点,同时兼具良好的体钝化和表面钝化效果;
    (3) 由于采用自主研制的高密度、大面积等离子体源,相比国外OTB公司的PECVD生产线,价格有大幅度下降的空间;
    (4)大幅度提高了生产线的维护周期;
    (5)电能和特种气体的消耗降低了30%。

  • 市场前景


    目前,国产平板PECVD设备市场上出现相关的成熟产品极少,市场仍然依靠进口。“十三五”规划指出,光伏电池生产设备和辅助材料国产化率要达到90%。在政策支持力度增强、国内市场不断拓展的情况下,光伏业一片火热,刺激了对太阳能光伏装备的需求。2016年,我国国内厂商太阳能光伏装备新增市场规模将达到99亿元人民币,该数字在2020年有望达到492亿元人民币。

  • 加分项


    1.海归技术团队
    2.拥有8项专利

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