项目概要
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技术产品介绍
采用双室结构碳化硅晶体生长装置，与蓝宝石相比，碳化硅单晶更有利于制作对散热要求高、面积较大的大功率LED器件
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应用场景
可用于高亮度LED、电力电子以及先进雷达
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加分项
研发了半绝缘和导电型4H-SiC、6H-SiC晶体，建成了年产2万片3～4英寸SiC中试生产线
采用双室结构碳化硅晶体生长装置，与蓝宝石相比，碳化硅单晶更有利于制作对散热要求高、面积较大的大功率LED器件
采用双室结构碳化硅晶体生长装置，与蓝宝石相比，碳化硅单晶更有利于制作对散热要求高、面积较大的大功率LED器件
可用于高亮度LED、电力电子以及先进雷达
研发了半绝缘和导电型4H-SiC、6H-SiC晶体，建成了年产2万片3～4英寸SiC中试生产线
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