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硅片传输机器人

  • 拟合作方式:其他
  • 地区: 沈阳
  • 行业:IT+AI
  • 技术阶段:中试阶段
  • 技术来源:高校/院所技术成果
项目特色:

该项目团队在国内机器人应用技术领域有较高知名度。不过天津大学的高速并联机器人技术亦同样值得关注,也是国家863支持的项目。

项目概要

  • 技术产品介绍


    硅片传输机器人是集成电路(IC)制造装备中的重要设备,也是IC制造装备中的关键技术;

    本项目产品的特点是高精度、高速度、高洁净,可满足半导体制造业中高精度、高净化的环境要求,控制系统采用基于PC平台、具有开放式体系结构和网络功能的机器人控制器。技术指标已达到国外同类产品的水平,授权发明专利5项;


  • 应用场景


    a.具有高精度、高洁净度要求的半导体制造设备;
    b.医药、化工等行业应用。

  • 技术优势


    本项目系列化产品为极坐标型机器人(R-θ型径向直线运动机器人),由单臂型机器人和双臂型机器人二个系列产品组成。R-θ型硅片传输机器人有3个运动范围,分别为R轴(径向)、θ轴(旋转)和Z轴(升降),末端执行器可自动翻转。R轴、θ轴、Z轴分别为交流伺服电机驱动,末端执行器为翻转气缸驱动,抓取工件为真空吸附。硅片夹持范围为 100mm- 300mm,负载为200g,位置重复精度Z轴为±0.02mm,θ轴为±0.01°,R轴为±0.05mm,硅片的夹持方式包括真空夹持和边缘夹持。净化等级为10级。

  • 加分项


    国家863成果项目;

    多项发明专利授权。

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