项目概要

• 技术产品介绍

  
  本项目所研制的大型平板式扩展热等离子体增强化学气相沉积装备(ETP PECVD) ，主要用于制备SiN膜、石墨烯、ZnO、非晶硅和微晶硅、金刚石薄膜等，是生产这些新材料的关键核心设备。

• 应用场景

  
  经过不断的试验，本项目技术在太阳能电池的大规模生产线得到了应用。突破了国外技术壁垒，降低我国太阳能产业对进口设备的依赖，降低太阳电池片的生产成本和维护成本。

• 技术优势

  
  设备具备以下几个特点：
  （1） 产能是其他技术如微波等离子体技术和射频等离子体技术（目前市场上广泛使用）的两倍；
  （2） 克服了德国Roth &Rau公司体钝化效果差的缺点，同时兼具良好的体钝化和表面钝化效果；
  （3） 由于采用自主研制的高密度、大面积等离子体源，相比国外OTB公司的PECVD生产线，价格有大幅度下降的空间；
  （4）大幅度提高了生产线的维护周期；
  （5）电能和特种气体的消耗降低了30%。

• 市场前景

  
  目前，国产平板PECVD设备市场上出现相关的成熟产品极少，市场仍然依靠进口。“十三五”规划指出，光伏电池生产设备和辅助材料国产化率要达到90%。在政策支持力度增强、国内市场不断拓展的情况下，光伏业一片火热，刺激了对太阳能光伏装备的需求。2016年，我国国内厂商太阳能光伏装备新增市场规模将达到99亿元人民币，该数字在2020年有望达到492亿元人民币。

• 加分项

  
  1.海归技术团队
  2.拥有8项专利

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